刻蚀熔石英、介质材料、金、光刻胶。反应气体:SF6、CHF3、O2、Ar、He源RF功率:0~1500W,13.56MHz偏置RF功率0~500W,13.56MHz大小:2”~6”硅片博乐体育,4”× 4”,(6”×6”可选)以及碎片本底线Pa刻蚀材料:熔石英、介质材料、金、光刻胶。
(1)由专人操作,博乐体育不接受自助使用预约;(2)价格:开机:300.00元;ICP刻蚀金属:Au:100.00元/100nm;Ti:150.00元/100nm;SiO2:ICP:150.00元/100nm;RIE:120.00元/100nm;Si:ICP:10.00元/1000nm;Poly-Si:ICP:100.00元/100nm;打胶:100.00元/炉。(3)原则上,不接受金属刻蚀,如因项目需要,有特殊需要的,可能由此产生的金属污染,应由申请加工方自己负责,并请申请前仔细考虑;(4)仅周五对外。